????產(chan)品廣泛應用于(yu)(yu)(yu)：汽(qi)車、通信(xin)、消費電(dian)子(zi)(zi)、工(gong)業(ye)控制、醫療器械、儀器儀表、安防監控等領域。本公司一直秉承優勢服(fu)務(wu)，誠信(xin)合作(zuo)的(de)(de)(de)(de)(de)原(yuan)則，以(yi)現代化管理(li)(li)以(yi)及(ji)優勢的(de)(de)(de)(de)(de)渠道(dao)價格、良好的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)譽與廣大(da)客(ke)戶建立了長期友好的(de)(de)(de)(de)(de)合作(zuo)關系，為廣大(da)廠(chang)(chang)商和(he)市場客(ke)戶提供優勢的(de)(de)(de)(de)(de)產(chan)品服(fu)務(wu)。步(bu)驟s：熱(re)(re)退(tui)火(huo)使所述(shu)(shu)若(ruo)干(gan)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)變形后相互(hu)連通形成一空(kong)(kong)腔(qiang)(qiang)，且(qie)所述(shu)(shu)硅(gui)(gui)片(pian)在(zai)(zai)空(kong)(kong)腔(qiang)(qiang)上方(fang)連接起來，將所述(shu)(shu)空(kong)(kong)腔(qiang)(qiang)封(feng)閉。對開(kai)(kai)設(she)有(you)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)的(de)(de)(de)(de)(de)硅(gui)(gui)片(pian)進行適當的(de)(de)(de)(de)(de)熱(re)(re)處理(li)(li)，當硅(gui)(gui)片(pian)被(bei)加熱(re)(re)到(dao)一定(ding)(ding)溫度(du)時，硅(gui)(gui)原(yuan)子(zi)(zi)的(de)(de)(de)(de)(de)振動能(neng)較大(da)，導致原(yuan)子(zi)(zi)的(de)(de)(de)(de)(de)移(yi)動能(neng)加強，硅(gui)(gui)原(yuan)子(zi)(zi)會發生遷移(yi)。由于(yu)(yu)(yu)硅(gui)(gui)片(pian)上開(kai)(kai)設(she)有(you)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)。且(qie)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)側壁的(de)(de)(de)(de)(de)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)距較小(xiao)，當硅(gui)(gui)原(yuan)子(zi)(zi)遷移(yi)運動達到(dao)一定(ding)(ding)程度(du)時，硅(gui)(gui)原(yuan)子(zi)(zi)會進入(ru)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)內，硅(gui)(gui)片(pian)內部(bu)(bu)(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)會發生形變，溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)上部(bu)(bu)(bu)(bu)被(bei)硅(gui)(gui)封(feng)閉，若(ruo)干(gan)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)中(zhong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)部(bu)(bu)(bu)(bu)位相互(hu)連通，形成一空(kong)(kong)腔(qiang)(qiang)(如圖b所示)。即空(kong)(kong)腔(qiang)(qiang)處于(yu)(yu)(yu)硅(gui)(gui)片(pian)的(de)(de)(de)(de)(de)中(zhong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)，空(kong)(kong)腔(qiang)(qiang)的(de)(de)(de)(de)(de)上部(bu)(bu)(bu)(bu)和(he)下部(bu)(bu)(bu)(bu)均具有(you)硅(gui)(gui)結構(gou)，上下硅(gui)(gui)結構(gou)被(bei)空(kong)(kong)腔(qiang)(qiang)隔離(li)開(kai)(kai)。在(zai)(zai)一實(shi)(shi)施例中(zhong)，熱(re)(re)退(tui)火(huo)的(de)(de)(de)(de)(de)溫度(du)可(ke)為℃。改變溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)的(de)(de)(de)(de)(de)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)距，可(ke)以(yi)得到(dao)不同形態(tai)的(de)(de)(de)(de)(de)空(kong)(kong)腔(qiang)(qiang)，且(qie)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)距越大(da)，所需的(de)(de)(de)(de)(de)退(tui)火(huo)溫度(du)就越高(gao)，但是(shi)退(tui)火(huo)的(de)(de)(de)(de)(de)持(chi)續時間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)不超過min。在(zai)(zai)本實(shi)(shi)施例中(zhong)，溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)陣(zhen)列中(zhong)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)之(zhi)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)距大(da)于(yu)(yu)(yu)內部(bu)(bu)(bu)(bu)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)的(de)(de)(de)(de)(de)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)距，如此(ci)可(ke)以(yi)避免在(zai)(zai)空(kong)(kong)腔(qiang)(qiang)邊緣處形成缺(que)口。同時，熱(re)(re)退(tui)火(huo)需要在(zai)(zai)一隔離(li)環境中(zhong)進行。溫度(du)傳感器廠(chang)(chang)家就找美(mei)信(xin)美(mei)。徐州通用溫度(du)傳感器參數(shu)

????產品廣泛應用(yong)于(yu)(yu)：汽車、通信、消(xiao)費電(dian)子(zi)、工業控制、醫療器械、儀器儀表、安防(fang)監控等領域。步驟s：在(zai)多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)層(ceng)(ceng)上(shang)淀積(ji)第(di)(di)(di)三(san)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)層(ceng)(ceng)，第(di)(di)(di)三(san)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)層(ceng)(ceng)包括位(wei)(wei)于(yu)(yu)相鄰(lin)多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)之間的(de)(de)(de)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)，n型多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)和p型多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)通過金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)串(chuan)(chuan)聯，第(di)(di)(di)三(san)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)層(ceng)(ceng)還包括位(wei)(wei)于(yu)(yu)多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)層(ceng)(ceng)外(wai)側兩(liang)(liang)(liang)端的(de)(de)(de)第(di)(di)(di)二(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)，用(yong)于(yu)(yu)引出(chu)(chu)溫度(du)傳(chuan)(chuan)感(gan)器的(de)(de)(de)輸出(chu)(chu)端子(zi)。繼續參見圖和圖，在(zai)多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)層(ceng)(ceng)上(shang)淀積(ji)第(di)(di)(di)三(san)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)層(ceng)(ceng)，第(di)(di)(di)三(san)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)層(ceng)(ceng)包括金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)和第(di)(di)(di)二(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)。金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)位(wei)(wei)于(yu)(yu)相鄰(lin)多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)之間以連(lian)接(jie)該(gai)多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)，具體為(wei)(wei)(wei)位(wei)(wei)于(yu)(yu)相鄰(lin)多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)端部位(wei)(wei)置，所有n型多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)和p型多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)通過該(gai)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)形(xing)成一串(chuan)(chuan)聯結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)，因此，當具有m個(ge)(ge)(ge)多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)時，需(xu)要m-個(ge)(ge)(ge)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)使多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)串(chuan)(chuan)聯起來。一個(ge)(ge)(ge)n型多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)與一個(ge)(ge)(ge)p型多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)串(chuan)(chuan)聯形(xing)成一個(ge)(ge)(ge)塞(sai)貝克(seebeck)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)，在(zai)本方案中(zhong)，是多(duo)個(ge)(ge)(ge)塞(sai)貝克結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)串(chuan)(chuan)聯形(xing)成一個(ge)(ge)(ge)測(ce)溫單元(yuan)，因此，m需(xu)為(wei)(wei)(wei)偶(ou)數。第(di)(di)(di)二(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)淀積(ji)于(yu)(yu)多(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)層(ceng)(ceng)外(wai)側的(de)(de)(de)兩(liang)(liang)(liang)端，以便(bian)于(yu)(yu)引出(chu)(chu)溫度(du)傳(chuan)(chuan)感(gan)器的(de)(de)(de)輸出(chu)(chu)端子(zi)。在(zai)本實(shi)施例(li)中(zhong)，第(di)(di)(di)三(san)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)層(ceng)(ceng)為(wei)(wei)(wei)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)鋁層(ceng)(ceng)。上(shang)述熱(re)電(dian)偶(ou)傳(chuan)(chuan)感(gan)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)，利用(yong)半(ban)導體兩(liang)(liang)(liang)端的(de)(de)(de)溫度(du)不同時。會在(zai)半(ban)導體內部產生(sheng)溫差電(dian)動勢(shi)(shi)，不同類型的(de)(de)(de)半(ban)導體其(qi)溫差電(dian)動勢(shi)(shi)不同，將兩(liang)(liang)(liang)種半(ban)導體兩(liang)(liang)(liang)端連(lian)接(jie)形(xing)成閉合回路(lu)時，在(zai)回路(lu)中(zhong)有電(dian)流產生(sheng)。廣州單極型溫度(du)傳(chuan)(chuan)感(gan)器報價溫度(du)傳(chuan)(chuan)感(gan)器供貨商(shang)深圳美信美科(ke)技有公司連(lian)續兩(liang)(liang)(liang)年(nian)獲得好的(de)(de)(de)供應商(shang)稱號。

????第(di)(di)(di)三(san)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)層(ceng)包括(kuo)位于(yu)相鄰多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)之(zhi)間(jian)(jian)的金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)，n型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)和(he)p型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)通過(guo)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)串聯(lian)，第(di)(di)(di)三(san)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)層(ceng)還(huan)包括(kuo)位于(yu)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)層(ceng)外側(ce)兩(liang)端(duan)的第(di)(di)(di)二金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)，用于(yu)引出溫度(du)傳感(gan)器的輸出端(duan)子。如圖5和(he)圖6所(suo)示，氧(yang)化硅(gui)(gui)薄膜23上形成(cheng)有一(yi)層(ceng)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)層(ceng)50，該(gai)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)層(ceng)50包括(kuo)并排且間(jian)(jian)隔(ge)設(she)置的n型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)51和(he)p型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)52。n型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)可(ke)為(wei)(wei)(wei)在(zai)(zai)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)內部(bu)摻雜(za)(za)ⅴ族(zu)元(yuan)素形成(cheng)導(dao)電類型(xing)(xing)(xing)(xing)為(wei)(wei)(wei)n型(xing)(xing)(xing)(xing)的多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)，且其內部(bu)摻雜(za)(za)均勻(yun)；p型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)可(ke)為(wei)(wei)(wei)在(zai)(zai)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)內部(bu)摻雜(za)(za)ⅲ族(zu)元(yuan)素形成(cheng)導(dao)電類型(xing)(xing)(xing)(xing)為(wei)(wei)(wei)p型(xing)(xing)(xing)(xing)的多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)，且其內部(bu)摻雜(za)(za)均勻(yun)。n型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)和(he)p型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)形狀相同(tong)，在(zai)(zai)本方案中(zhong)，n型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)和(he)p型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)為(wei)(wei)(wei)長(chang)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)型(xing)(xing)(xing)(xing)，多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)平(ping)行設(she)置，具(ju)有相同(tong)的間(jian)(jian)距。在(zai)(zai)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)層(ceng)50上淀積有第(di)(di)(di)三(san)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)層(ceng)60，第(di)(di)(di)三(san)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)層(ceng)60包括(kuo)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)61和(he)第(di)(di)(di)二金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)62。金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)61位于(yu)相鄰多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)之(zhi)間(jian)(jian)，該(gai)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)通過(guo)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)61連接，金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)61具(ju)體為(wei)(wei)(wei)位于(yu)相鄰多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)端(duan)部(bu)位置，所(suo)有n型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)51和(he)p型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)52通過(guo)該(gai)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)61形成(cheng)一(yi)串聯(lian)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)，因此，當具(ju)有m個(ge)(ge)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)時，需(xu)要m-1個(ge)(ge)金(jin)(jin)屬(shu)(shu)(shu)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)61使(shi)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)串聯(lian)起來(lai)。一(yi)個(ge)(ge)n型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)與一(yi)個(ge)(ge)p型(xing)(xing)(xing)(xing)多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)條(tiao)(tiao)(tiao)(tiao)串聯(lian)形成(cheng)一(yi)個(ge)(ge)塞貝克(seebeck)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)，在(zai)(zai)本方案中(zhong)，是多(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)(duo)個(ge)(ge)塞貝克結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(gou)(gou)串聯(lian)形成(cheng)一(yi)個(ge)(ge)測溫單元(yuan)，因此。

????如圖c所示，基底(di)包(bao)括硅片(pian)和(he)(he)氧(yang)化硅薄膜(mo)，硅片(pian)和(he)(he)氧(yang)化硅薄膜(mo)之間形(xing)成(cheng)有(you)空(kong)腔(qiang)。測(ce)(ce)(ce)溫(wen)(wen)單元(yuan)是溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)工作單元(yuan)，溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)通過(guo)該測(ce)(ce)(ce)溫(wen)(wen)單元(yuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)知溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)后形(xing)成(cheng)電(dian)(dian)信(xin)號(hao)并輸(shu)出，在(zai)本(ben)方(fang)案中(zhong)(zhong)，測(ce)(ce)(ce)溫(wen)(wen)單元(yuan)形(xing)成(cheng)于(yu)(yu)氧(yang)化硅薄膜(mo)上(shang)且位于(yu)(yu)空(kong)腔(qiang)上(shang)方(fang)。在(zai)一實施(shi)例中(zhong)(zhong)，測(ce)(ce)(ce)溫(wen)(wen)單元(yuan)為一熱(re)(re)(re)電(dian)(dian)阻(zu)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)結構，包(bao)括：金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)層，金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)層為金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)鉑(bo)(bo)(bo)層，金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)鉑(bo)(bo)(bo)層呈連續弓字(zi)形(xing)結構；和(he)(he)第(di)二(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)層，位于(yu)(yu)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)鉑(bo)(bo)(bo)層外側(ce)兩(liang)端(duan)，用于(yu)(yu)引出溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)輸(shu)出端(duan)子。如圖和(he)(he)圖所示，氧(yang)化硅薄膜(mo)上(shang)淀(dian)積有(you)一層金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)層，該金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)層為金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)鉑(bo)(bo)(bo)層，即熱(re)(re)(re)電(dian)(dian)阻(zu)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)結構選用鉑(bo)(bo)(bo)熱(re)(re)(re)電(dian)(dian)阻(zu)。在(zai)另一實施(shi)例中(zhong)(zhong)，也可選用其他電(dian)(dian)阻(zu)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)系數較高的(de)(de)材料如鎳(nie)、鐵(tie)等。為減小溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)尺(chi)寸(cun)，在(zai)小尺(chi)寸(cun)的(de)(de)基底(di)上(shang)增(zeng)大鉑(bo)(bo)(bo)熱(re)(re)(re)電(dian)(dian)阻(zu)的(de)(de)接觸面積，鉑(bo)(bo)(bo)熱(re)(re)(re)電(dian)(dian)阻(zu)呈連續弓字(zi)形(xing)結構(如圖所示)。金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)鉑(bo)(bo)(bo)層外側(ce)兩(liang)端(duan)淀(dian)積有(you)一層第(di)二(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)層。深圳(zhen)市美(mei)信(xin)美(mei)科(ke)技有(you)限公(gong)司(si)于(yu)(yu)2020年04月17日成(cheng)立(li)。公(gong)司(si)經營(ying)范圍包(bao)括：一般經營(ying)項目是：電(dian)(dian)子產(chan)(chan)品及(ji)其配件的(de)(de)技術開發(fa)與銷售；國內貿易等。本(ben)公(gong)司(si)主營(ying)推(tui)廣(guang)(guang)銷售AD（亞德諾）,LINEAR（凌特）以及(ji)TI、MAXIM、NXP等國際有(you)名品牌集成(cheng)電(dian)(dian)路。產(chan)(chan)品廣(guang)(guang)泛應(ying)用于(yu)(yu)：汽車、通信(xin)、消費(fei)電(dian)(dian)子、工業控(kong)制(zhi)、醫療器(qi)(qi)(qi)械、儀器(qi)(qi)(qi)儀表(biao)、安防監控(kong)等領域。該第(di)二(er)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)層可為金(jin)(jin)(jin)屬(shu)(shu)鋁層。原(yuan)裝溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)，找(zhao)深圳(zhen)美(mei)信(xin)美(mei)科(ke)技。

????提供這些(xie)實(shi)施例的(de)(de)(de)(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)(de)(de)(de)是使(shi)對本(ben)發(fa)明(ming)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)公開內(nei)容更(geng)加(jia)透徹。除非另有定(ding)義，本(ben)文(wen)所(suo)使(shi)用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)所(suo)有的(de)(de)(de)(de)(de)(de)技術和科學術語(yu)與屬(shu)于(yu)本(ben)發(fa)明(ming)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)技術領(ling)域(yu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)技術人員通常理解的(de)(de)(de)(de)(de)(de)含義相(xiang)(xiang)同(tong)。本(ben)文(wen)中在(zai)(zai)(zai)(zai)本(ben)發(fa)明(ming)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)說明(ming)書中所(suo)使(shi)用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)術語(yu)只是為(wei)(wei)了描述(shu)具體(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)實(shi)施例的(de)(de)(de)(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)(de)(de)(de)，不(bu)是旨在(zai)(zai)(zai)(zai)于(yu)限(xian)制本(ben)發(fa)明(ming)。本(ben)文(wen)所(suo)使(shi)用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)術語(yu)“及/或”包括一(yi)(yi)個或多(duo)個相(xiang)(xiang)關的(de)(de)(de)(de)(de)(de)所(suo)列項(xiang)目的(de)(de)(de)(de)(de)(de)任(ren)意的(de)(de)(de)(de)(de)(de)和所(suo)有的(de)(de)(de)(de)(de)(de)組合(he)(he)。本(ben)申請提供一(yi)(yi)種(zhong)溫(wen)度(du)(du)傳感(gan)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)制備(bei)方法(fa)，如圖(tu)1所(suo)示，其步(bu)(bu)驟包括：步(bu)(bu)驟s110：在(zai)(zai)(zai)(zai)硅片上(shang)形(xing)成(cheng)若干(gan)(gan)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)。結合(he)(he)圖(tu)2a所(suo)示，獲(huo)取一(yi)(yi)硅晶片20，從(cong)硅片20上(shang)方垂直(zhi)向下開設若干(gan)(gan)并列的(de)(de)(de)(de)(de)(de)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)21形(xing)成(cheng)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)陣列。在(zai)(zai)(zai)(zai)一(yi)(yi)實(shi)施例中，先在(zai)(zai)(zai)(zai)硅片20上(shang)形(xing)成(cheng)具有陣列圖(tu)案(an)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)光刻(ke)膠層，再(zai)以(yi)光刻(ke)膠作為(wei)(wei)掩膜(mo)(mo)版對硅片20進(jin)行刻(ke)蝕(shi)(shi)形(xing)成(cheng)若干(gan)(gan)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)21。在(zai)(zai)(zai)(zai)本(ben)實(shi)施例中，刻(ke)蝕(shi)(shi)可(ke)為(wei)(wei)常規(gui)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)法(fa)刻(ke)蝕(shi)(shi)，具體(ti)為(wei)(wei)深度(du)(du)離子(zi)刻(ke)蝕(shi)(shi)。干(gan)(gan)法(fa)刻(ke)蝕(shi)(shi)具有更(geng)高的(de)(de)(de)(de)(de)(de)刻(ke)蝕(shi)(shi)精度(du)(du)和更(geng)好的(de)(de)(de)(de)(de)(de)各向異性性能，其精度(du)(du)可(ke)達亞微米(mi)級別，通過干(gan)(gan)法(fa)刻(ke)蝕(shi)(shi)，可(ke)以(yi)得到(dao)形(xing)態較(jiao)好的(de)(de)(de)(de)(de)(de)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)，尤其是溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)尺(chi)寸較(jiao)小時利用(yong)干(gan)(gan)法(fa)刻(ke)蝕(shi)(shi)效果(guo)更(geng)佳(jia)。可(ke)通過調節掩膜(mo)(mo)板(ban)圖(tu)案(an)和控制刻(ke)蝕(shi)(shi)參數得到(dao)不(bu)同(tong)形(xing)態的(de)(de)(de)(de)(de)(de)溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)，其中，溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)21的(de)(de)(de)(de)(de)(de)寬度(du)(du)可(ke)為(wei)(wei)～1μm，溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)21的(de)(de)(de)(de)(de)(de)深度(du)(du)可(ke)為(wei)(wei)1～10μm，相(xiang)(xiang)鄰溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)21之間的(de)(de)(de)(de)(de)(de)間隔可(ke)為(wei)(wei)～1μm。溝(gou)槽(cao)(cao)(cao)(cao)21的(de)(de)(de)(de)(de)(de)俯視(shi)形(xing)貌可(ke)以(yi)為(wei)(wei)圓形(xing)、方形(xing)或其他形(xing)狀。長期(qi)穩定(ding)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)溫(wen)度(du)(du)傳感(gan)器(qi)渠道，就找深圳市(shi)美信美科技有限(xian)公司(si)。石家莊(zhuang)NTC溫(wen)度(du)(du)傳感(gan)器(qi)IC

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????并(bing)在(zai)(zai)(zai)(zai)鈍(dun)化(hua)(hua)(hua)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)上(shang)(shang)(shang)對(dui)(dui)應(ying)所(suo)(suo)述溫度傳(chuan)感器(qi)(qi)引出(chu)(chu)輸(shu)出(chu)(chu)端子(zi)處設(she)(she)有(you)通(tong)(tong)孔。因上(shang)(shang)(shang)述熱(re)電(dian)阻傳(chuan)感器(qi)(qi)中上(shang)(shang)(shang)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)有(you)金(jin)屬(shu)結(jie)(jie)構如(ru)金(jin)屬(shu)鋁(lv)和金(jin)屬(shu)鉑(bo)，對(dui)(dui)于直接(jie)暴(bao)露在(zai)(zai)(zai)(zai)空氣中時容易(yi)氧(yang)化(hua)(hua)(hua)的(de)(de)金(jin)屬(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)，其(qi)(qi)上(shang)(shang)(shang)還形(xing)成(cheng)一(yi)(yi)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)鈍(dun)化(hua)(hua)(hua)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)，可(ke)(ke)對(dui)(dui)金(jin)屬(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)進(jin)行保護。同時，需要在(zai)(zai)(zai)(zai)對(dui)(dui)應(ying)溫度傳(chuan)感器(qi)(qi)引出(chu)(chu)端子(zi)處開設(she)(she)通(tong)(tong)孔，通(tong)(tong)過通(tong)(tong)孔可(ke)(ke)引出(chu)(chu)輸(shu)出(chu)(chu)端子(zi)。在(zai)(zai)(zai)(zai)本實(shi)施例中，是(shi)在(zai)(zai)(zai)(zai)兩端的(de)(de)金(jin)屬(shu)鋁(lv)上(shang)(shang)(shang)方的(de)(de)鈍(dun)化(hua)(hua)(hua)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)開設(she)(she)通(tong)(tong)孔。鈍(dun)化(hua)(hua)(hua)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)可(ke)(ke)為(wei)(wei)氧(yang)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)或氮(dan)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)，也可(ke)(ke)為(wei)(wei)疊設(she)(she)的(de)(de)氧(yang)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)和氮(dan)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)。在(zai)(zai)(zai)(zai)一(yi)(yi)實(shi)施例中，測溫單(dan)元為(wei)(wei)一(yi)(yi)熱(re)電(dian)偶傳(chuan)感結(jie)(jie)構，其(qi)(qi)具體(ti)形(xing)成(cheng)過程為(wei)(wei)：步驟s：在(zai)(zai)(zai)(zai)所(suo)(suo)述氧(yang)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)薄(bo)膜(mo)上(shang)(shang)(shang)淀(dian)(dian)(dian)積一(yi)(yi)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)，所(suo)(suo)述多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)包(bao)括并(bing)排且(qie)間(jian)隔設(she)(she)置(zhi)(zhi)的(de)(de)n型(xing)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)條(tiao)和p型(xing)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)條(tiao)。如(ru)圖(tu)和圖(tu)所(suo)(suo)示，在(zai)(zai)(zai)(zai)氧(yang)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)薄(bo)膜(mo)上(shang)(shang)(shang)淀(dian)(dian)(dian)積一(yi)(yi)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)，該多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)包(bao)括并(bing)排且(qie)間(jian)隔設(she)(she)置(zhi)(zhi)的(de)(de)n型(xing)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)條(tiao)和p型(xing)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)條(tiao)。n型(xing)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)可(ke)(ke)為(wei)(wei)在(zai)(zai)(zai)(zai)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)內部摻雜(za)ⅴ族(zu)元素形(xing)成(cheng)導電(dian)類型(xing)為(wei)(wei)n型(xing)的(de)(de)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)，且(qie)其(qi)(qi)內部摻雜(za)均勻。p型(xing)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)可(ke)(ke)為(wei)(wei)在(zai)(zai)(zai)(zai)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)內部摻雜(za)ⅲ族(zu)元素形(xing)成(cheng)導電(dian)類型(xing)為(wei)(wei)p型(xing)的(de)(de)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)，且(qie)其(qi)(qi)內部摻雜(za)均勻。n型(xing)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)條(tiao)和p型(xing)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)條(tiao)形(xing)狀相同，在(zai)(zai)(zai)(zai)本方案中，n型(xing)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)條(tiao)和p型(xing)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)條(tiao)為(wei)(wei)長條(tiao)型(xing)，多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)條(tiao)平行設(she)(she)置(zhi)(zhi)，具有(you)相同的(de)(de)間(jian)距(ju)。步驟s：在(zai)(zai)(zai)(zai)多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)上(shang)(shang)(shang)淀(dian)(dian)(dian)積第(di)三金(jin)屬(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)，第(di)三金(jin)屬(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)(ceng)包(bao)括位于相鄰多(duo)(duo)(duo)晶(jing)(jing)(jing)(jing)(jing)硅(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)(gui)條(tiao)之間(jian)的(de)(de)金(jin)屬(shu)結(jie)(jie)構。徐(xu)州(zhou)通(tong)(tong)用(yong)溫度傳(chuan)感器(qi)(qi)參(can)數(shu)